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更新时间：2024-06-20
描述：
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、 分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染 措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求，了解被抽气体成分，气体中含不含 可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选 择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅 助设备，如冷凝器、除尘器等。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污 染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有 无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。真空泵的价格、运转及维 修费用。
