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更新时间：2024-06-20
描述：
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要 几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而 三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便 会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真 空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
